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J-GLOBAL ID:201202248647421732   整理番号:12A0685511

ナノプラズモン増強による高性能GaN UV検出器の実現

Realization of a High-Performance GaN UV Detector by Nanoplasmonic Enhancement
著者 (9件):
資料名:
巻: 24  号:ページ: 845-849  発行年: 2012年02月07日 
JST資料番号: W0001A  ISSN: 0935-9648  CODEN: ADVMEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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MOCVDによってサファイア(0001)基板上にGaNをエピタキシャル成長させ,電子ビーム蒸着法によってAgを析出させ,800°CでアニールしてAgナノ粒子を形成させた。フォトリソグラフィーによってAu/Ni電極を作製し,Schottky障壁高さ測定および紫外線検出に用いた。作製したデバイスはAgナノ粒子の表面プラズモン共鳴によって約30倍の感度向上を示し,GaN系高感度紫外線および深紫外線検出器の有用性を示唆した。
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分類 (3件):
分類
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固-気界面一般  ,  塩  ,  光電デバイス一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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