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J-GLOBAL ID:201202248773577292   整理番号:12A0158000

共形エレクトロニクスおよびセンサ用のカーボンナノチューブ能動マトリクスバックプレーン

Carbon Nanotube Active-Matrix Backplanes for Conformal Electronics and Sensors
著者 (8件):
資料名:
巻: 11  号: 12  ページ: 5408-5413  発行年: 2011年12月 
JST資料番号: W1332A  ISSN: 1530-6984  CODEN: NALEFD  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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半導体性増強カーボンナノチューブの溶液処理を使用して,移動度とオンオフ比の大きい均一な高性能薄膜トランジスタ(TFT)アレイを大面積ポリイミド基板上に形成した。レーザ切断を用いて基板に蜂巣メッシュ構造を製作し,伸張可能な柔軟性を付与し,そのピクセルにTFTを結合して,素子ごとの統計変動を最小にした。その結果,機械的に変形可能なアクティブマトリックスバックプレーン(AMB)を得ることができた。その有用性を示すために,このAMB(12×8ピクセル,6×4cm2)に圧力有感ゴムセンサを取付けた人工電子皮膚を製作した。その物体接触に基づく圧力マッピングの結果を示した。
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分類 (4件):
分類
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炭素とその化合物  ,  トランジスタ  ,  半導体薄膜  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
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