抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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International Electron Device Meeting(IEDM)やVLSIシンポジウム等で発表された電子デバイス技術から,最新の開発状況を解説した。次の技術を取り上げ,それらの材料,デバイス構造,特長などを紹介した。(1)厚さ60オングストロームの極薄SOIデバイスを柔軟なプラスチックテープ上に移す方法で作製したCMOS,(2)曲げたり広げたりすることのできる極薄チップによるデバイスを曲面のあるパッケージに実装する技術,(3)各種用途向け(高速用,低待機電力用,高電圧用など)に特化したFinFET,(4)磁気抵抗メモリ(MRAM)のサイズをさらに小さくできるスピン-トルクMRAM,(5)不揮発性の抵抗RAM。これは絶縁体中に導電性フィラメントを分散させたMIM構造のデバイスで,HfO
2上に形成されている,(6)3次元メモリ,(7)グラフェン,硫化モリブデン(MoS),およびナノワイヤを用いたナノスケールトランジスタ。