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J-GLOBAL ID:201202249004787027   整理番号:12A1729408

アルゴン緩衝気体中のキセノンプラズマデブリの実効衝突断面積

Effective collision cross section of xenon plasma debris in argon buffer gas
著者 (5件):
資料名:
巻: 13  ページ: 15-16  発行年: 2012年10月 
JST資料番号: L4711A  ISSN: 2189-6909  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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低温ドラムターゲットにNd:YAGレーザパルス(パルス幅8ns,10Hz,300mJ/パルス,強度109~1011W/cm2)を照射し,レーザ生成Xeプラズマから発生した軟X線と高速デブリの軽減をAr緩衝気体中で調べた。材料のスパッタリングを測定してデブリのかなりの低減を確認した。Ar緩衝気体に対するスパッタリングの減衰パラメータは2.2×10-20m2,13.5nmにおける軟X線の吸収断面積は1.82.2×10-22m2であった。
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分類 (1件):
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X線技術 
タイトルに関連する用語 (3件):
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