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J-GLOBAL ID：201202249013931300   整理番号：12A1451226

Cd_1-xZn_xTe合金ナノ構造の表面形態と深さプロファイル

Surface morphology and depth profile study of Cd_{1- x} Zn _x Te alloy nanostructures

著者 (9件)： YILMAZ Ercan (Physics Dep., Abant Izzet Baysal Univ., 14280 Bolu, TUR) ,  TUGAY Evrin (Physics Dep., Middle East Technical Univ., 06531 Ankara, TUR) ,  TUGAY Evrin (Center for Solar Energy Res. and Applications (GUENAM), Middle East Technical Univ., 06531 Ankara, TUR) ,  AKTAG Aliekber (Physics Dep., Abant Izzet Baysal Univ., 14280 Bolu, TUR) ,  YILDIZ Ilker (Physics Dep., Middle East Technical Univ., 06531 Ankara, TUR) ,  PARLAK Mehmet (Physics Dep., Middle East Technical Univ., 06531 Ankara, TUR) ,  PARLAK Mehmet (Center for Solar Energy Res. and Applications (GUENAM), Middle East Technical Univ., 06531 Ankara, TUR) ,  TURAN Rasit (Physics Dep., Middle East Technical Univ., 06531 Ankara, TUR) ,  TURAN Rasit (Center for Solar Energy Res. and Applications (GUENAM), Middle East Technical Univ., 06531 Ankara, TUR)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 545  ページ： 90-98  発行年： 2012年12月25日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ200nmのCd_1-xZn_xTe薄膜を単一スパッタリングターゲットからガラス基板上に堆積した。堆積過程中に基板は400°Cに加熱し,堆積膜を常圧N₂ガス流下で1時間300°Cおよび450°Cにおけるアニールプロセスに供した。Cd_1-xZn_xTeナノ構造の構造および光学的変化に対するその場加熱および堆積後のアニール処理の影響を,X線回折(XRD),エネルギー分散分光(EDS),走査電子顕微鏡(SEM),X線光電子分光(XPS)およびUV透過分光といった評価技術により研究した。光学吸収端領域の透過スペクトルを,堆積したままのおよび熱処理を行ったCdZnTe試料に対して測定した。堆積膜のバンドギャップは1.59-1.66eVの範囲であることがわかった。XRD研究は,加熱したCd_1-xZn_xTe膜が,立方晶(111),(220)および(311)方位の多結晶構造で,加熱無しの膜はほとんど非晶質であることを明らかにした。薄膜の組成に対するアニール温度の影響を議論した。薄膜の化学組成の変化を理解する目的で,XPS測定を深さプロファイリングモードで行った。結果を,XRD測定から得られた構造解析と比較した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *カドミウム化合物 ,  *テルル化物 ,  *亜鉛化合物 ,  ナノ構造 ,  形態 ,  表面構造 ,  *深さプロフィル ,  基板 ,  ガラス ,  *RFスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  *焼なまし ,  *温度依存性 ,  結晶構造 ,  スペクトル ,  光透過 ,  *光学ギャップ ,  立方晶系 ,  化学組成
準シソーラス用語： テルル化カドミウム亜鉛 ,  透過スペクトル ,  *表面形態

分類 (3件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  無機化合物の結晶構造一般  (BK07001T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 合金 ,  ナノ構造 ,  表面形態 ,  深さプロファイル