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J-GLOBAL ID：201202249015930247   整理番号：12A1315892

マクロヘルムホルツ共振器を持つMEMSマイクロホン

MEMS microphone with a micro Helmholtz resonator

著者 (5件)： TAKAHASHI Hidetoshi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SUZUKI Akira (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  IWASE Eiji (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  MATSUMOTO Kiyoshi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SHIMOYAMA Isao (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 8  ページ： 085019,1-6  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ロボットの物体検出法の一つに超音波センサを使う距離推定がある。MEMSマイクロホンを受信機として使った超音波センサの微小化法が報告されている。本稿では,MEMSマイクロホンの受信感度向上について報告した。このMEMSマイクロホンは130μm×40μm×0.3μmの圧電抵抗カンチレバーと1.2mm×1.2mm×0.6mmのヘルムホルツ共振器(HR)で構成している。HRの共振周波数をカンチレバーと等しくすることによりマイクロホンの感度を超音波まで増加させた。このMEMSマイクロホンは22.6kHzでHR無しのHRと比べて14倍の感度を示した。この超音波センサは0.5~6.0mの測定距離で測定できる。

シソーラス用語： 知能ロボット ,  共振器 ,  *MEMS ,  マイクロホン ,  音波センサ ,  物体認識 ,  距離測定 ,  感度 ,  電気抵抗 ,  片持梁 ,  音響共振器 ,  共振周波数
準シソーラス用語： *Helmholtz共振器 ,  MEMS共振器 ,  カンチレバー ,  圧電抵抗 ,  距離推定 ,  受信感度 ,  *超音波センサ ,  物体検出

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (4件)： マクロ ,  ヘルムホルツ共振器 ,  MEMS ,  マイクロホン