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J-GLOBAL ID：201202249021002513   整理番号：12A1450563

超音波噴霧熱分解により作製したMg_xZn_1-xO膜の形態および光ルミネセンス特性に及ぼすMgドーピングの影響

Role of Mg doping on morphology and photoluminescence features of Mg_xZn_1-xO films prepared by ultrasonic spray pyrolysis

著者 (5件)： ZHANG Haiming (Tianjin Polytechnic Univ., School of Sci., 300160, Tianjin, CHN) ,  ZHAO Tingting (Tianjin Polytechnic Univ., School of Sci., 300160, Tianjin, CHN) ,  HU Guofeng (Tianjin Polytechnic Univ., School of Sci., 300160, Tianjin, CHN) ,  MIAO Lingling (Tianjin Polytechnic Univ., School of Sci., 300160, Tianjin, CHN) ,  YANG Yan (Tianjin Polytechnic Univ., School of Sci., 300160, Tianjin, CHN)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 23  号： 11  ページ： 1933-1937  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超音波噴霧熱分解法を用いることにより,約数μmの厚さのMg_xZn_1-xO薄膜をp型Si上に種々のMgドーピング濃度に対して作製した。走査型電子顕微鏡法(SEM),X線回折(XRD)および光ルミネセンスにより,形態,結晶構造および光学特性を,それぞれ調査した。SEM結果は,低Mg濃度のMg_xZn_1-xO膜の表面は平坦で,コンパクトで,膜の粗さがMg濃度とともに増加することを示した。XRDパターンは,低Mg濃度のMg_xZn_1-xO(x<0.21)膜はウルツ鉱構造を持ち,MgO相が存在しないことを実証した。PLスペクトルは,UV放出がMg組成の増加とともに明らかなブルーシフトをもつことを明らかにした。Copyright 2012 Springer Science+Business Media, LLC Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *熱分解 ,  噴霧 ,  超音波応用 ,  *薄膜成長 ,  *光ルミネセンス ,  *マグネシウム ,  ドーピング ,  マグネシウム化合物 ,  亜鉛化合物 ,  酸化物 ,  *半導体薄膜 ,  *添加物効果 ,  P型半導体 ,  ケイ素 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  X線回折 ,  結晶構造 ,  表面粗さ ,  ウルツ鉱型結晶 ,  青方偏移 ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： 超音波スプレー熱分解

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 超音波噴霧 ,  熱分解 ,  作製 ,  形態 ,  光ルミネセンス ,  Mg ,  ドーピング