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J-GLOBAL ID：201202249090021759   整理番号：11A1723216

種々の酸素流量でデポジットされたTiO2薄膜の微細構造および光学特性

Microstructure and optical properties of TiO2 thin films deposited at different oxygen flow rates

著者 (3件)： Zhao Baoxing (School of Energy Sci. and Engineering, Central South Univ., Changsha) ,  Zhou Jicheng (School of Energy Sci. and Engineering, Central South Univ., Changsha) ,  Rong Linyan (School of Energy Sci. and Engineering, Central South Univ., Changsha)
資料名： Transactions of Nonferrous Metals Society of China  (Transactions of Nonferrous Metals Society of China)
巻： 20  号： 8  ページ： 1429-1433  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0396A  ISSN： 1003-6326  CODEN： TNMCEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiO_2薄膜の構造的で光学的特性に及ぼす酸素流量の影響を研究するために,ガラス上のTiO2フィルムを,反応性マグネトロンスパッタリングによってデポジットした。この微細構造および光学特性を,それぞれX線回折分析,AFMおよびUV-VIS透過率スペクトロスコピーによって測定した。この結果は,10mL/分の酸素流量でデポジットした膜が,最小の粗度および最高の透過率を有することを示した。酸素流量が5から10mL/分まで上昇するとき,吸収角度はより長い波長にシフトして,次に,酸素流量が10から30mL/分まで上昇するとき,より短いものにシフトした。このバンドギャップは3.38eVであり,それは,この実験でほとんど一定であった。酸素流動率の10mL/分でデポジットされたTiO_2薄膜に関して,ナノ結晶構造があり,それは,太陽電池構造システムで反射防止(AR)塗膜にとって好適であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *貨幣 ,  流量 ,  微細構造 ,  酸化チタン ,  薄膜 ,  光学的性質 ,  マグネトロンスパッタリング ,  スペクトロスコピー ,  セラミック膜 ,  バンドギャップ ,  X線回折分析
準シソーラス用語： *デポジット ,  酸素流量 ,  TiO2 ,  光学特性 ,  反応性マグネトロンスパッタリング ,  TiO2フィルム ,  光学的特性

分類 (1件)： 機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸素流量 ,  デポジット ,  TiO2 ,  薄膜 ,  微細構造 ,  光学特性