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J-GLOBAL ID：201202249127521595   整理番号：12A1696157

X板系長さ縦振動モード水晶振動子の作製及び特性評価

著者 (3件)： 片倉清登 (東京理大) ,  山口富治 (東京理大) ,  蟹江壽 (東京理大)
資料名： 日本音響学会研究発表会講演論文集(CD-ROM)  (日本音響学会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2012  号： 秋季  ページ： ROMBUNNO.1-5-17  発行年： 2012年09月11日 
JST資料番号： G0381C  ISSN： 1880-7658  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *縦振動 ,  *水晶振動子 ,  フォトリソグラフィー ,  エッチング ,  間隙 ,  周波数特性 ,  共振周波数 ,  有限要素法 ,  縦モード ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： スリット【構造】 ,  温度特性 ,  X板系

分類 (1件)： 音響の励起・発生  (BB03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 縦 ,  振動モード ,  水晶振動子 ,  作製 ,  特性評価