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J-GLOBAL ID：201202249351151140   整理番号：12A0437334

電子サイクロトロン共鳴プラズマ支援化学蒸着を用いた自立カーボンナノシートの合成

Synthesis of free standing carbon nanosheet using electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition

著者 (2件)： THOMAS Rajesh (Plasma Processing Lab., Dep. of Instrumentation and Applied Physics, Indian Inst. of Sci., Bangalore 560012, IND) ,  RAO G. Mohan (Plasma Processing Lab., Dep. of Instrumentation and Applied Physics, Indian Inst. of Sci., Bangalore 560012, IND)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 11  ページ： 4877-4880  発行年： 2012年03月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： カーボンナノシート(CNS)を,アセチレン及びアルゴンの混合ガスを用いて,基板としての銅箔上に電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ支援化学蒸着(PECVD)により合成した。数原子層厚グラフェンシートからなるミクロン幅のカーボンシートを,ECR-PECVDにおける炭素ラジカルの分解を制御して合成した。これらの膜のRaman分光は,無秩序グラファイトシートの特性を明らかにした。厚い折り重なり炭素シート及び半透明自立CNSを走査電子顕微鏡により観測した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *炭素 ,  *ナノ構造 ,  *プラズマCVD ,  銅箔 ,  基板 ,  Ramanスペクトル ,  グラファイト ,  電子顕微鏡観察 ,  *ECRプラズマ ,  マイクロ波放電 ,  グラフェン ,  *ナノシート
準シソーラス用語： 走査電子顕微鏡法 ,  グラフェンシート ,  自立膜

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子サイクロトロン共鳴 ,  プラズマ支援化学蒸着 ,  自立 ,  カーボン ,  ナノシート