文献

J-GLOBAL ID：201202249553032178   整理番号：12A0722426

Fourierベース技術を利用した走査白色光干渉測定の完全干渉縞次数の決定

Complete fringe order determination in scanning white-light interferometry using a Fourier-based technique

著者 (2件)： GHIM Young-sik ,  DAVIES Angela
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 51  号： 12  ページ： 1922-1928  発行年： 2012年04月20日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 白色光干渉測定はコヒーレント長の短い白色光光源を利用するが,これにより,局在干渉縞が狭くなる。この特性を利用することで,2πあいまい性のない状態で,大きなステップ高さで,三次元表面分布を測定できる。コヒーレンスと位相情報を結合することで,垂直解像度が改良される。しかし,球状表面や傾斜表面などの高曲線状表面で位相とコヒーレンスの間の不一致が出現する。これらの不一致は,測定結果にゴーストステップと呼ばれる現象を引き起こす。本論文では,ゴーストステップを除去して,白色光干渉測定の精度を改良するために,白色光干渉測定の修正バージョンを提案した。いくつかの検査サンプルを測定して,提案技術を検証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *光干渉法 ,  白色光 ,  光走査 ,  *干渉縞 ,  *画像分析 ,  Fourier解析 ,  コヒーレンス ,  曖昧さ ,  球面 ,  分解能
準シソーラス用語： ゴースト画像

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 走査 ,  白色光 ,  干渉測定 ,  干渉縞 ,  次数