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J-GLOBAL ID：201202249612376889   整理番号：12A0018818

すれすれ入射X線光学部品の形状修正のための差分蒸着法

Differential deposition technique for figure corrections in grazing-incidence x-ray optics

著者 (4件)： KILARU Kiranmayee (Univ. Alabama in Huntsville, Alabama) ,  GREGORY Don A. (Univ. Alabama in Huntsville, Alabama) ,  RAMSEY Brian D. (NASA, Alabama) ,  GUBAREV Mikhail V. (NASA, Alabama)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 50  号： 10  ページ： 106501.1-106501.6  発行年： 2011年10月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Marshall宇宙飛行センターでは,電鋳ニッケル複製法を用いてすれすれ入射X線光学系が作製されている。この種の光学系にはX線の反射と結像のために,双曲線,放物線,および/または楕円などの,オフ軸円錐セグメントの組合せが使用される。ここでは,全シェル構造のすれすれ入射反射型X線光学部品の製造後において,シェルの表面偏差を修正し,軸形状誤差を最小化する方法として差分蒸着法を検討した。この差分蒸着法では,ターゲットと物体との間のマスクに設けたスリットを通して,測定された形状と必要とされる形状の差分のスパッタ材料を蒸着する。シミュレーションにより偏差修正の最良の戦略を検討し,幅広いスリットを用いた低空間周波数補正から始め,順次スリット寸法を減少させ高次の空間周波数に対処すれば良いことを示した。概念の実証として,医療応用の小動物の放射性核種イメージングX線光学系に適用した。全体的表面プロファイルが改善され,rmsスロープ誤差の12arc secから7arc secへの改善が見いだされた。

シソーラス用語： *X線 ,  *光学 ,  反射鏡 ,  製造 ,  修正 ,  誤差 ,  スパッタ蒸着 ,  空間周波数 ,  シンチグラフィー ,  光学器械
準シソーラス用語： X線ミラー ,  *X線光学 ,  形状誤差 ,  光学製造 ,  放射性核種イメージング

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： すれすれ入射 ,  X線光学 ,  形状修正 ,  差分 ,  蒸着