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J-GLOBAL ID:201202249716073977   整理番号:12A1639563

静電誘導給電方式を使用した水を用いた無電解微細放電加工

Electrolysis Free Micro EDM in Water Using Electrostatic Induction Feeding Method
著者 (2件):
資料名:
巻:号:ページ: 800-807 (J-STAGE)  発行年: 2012年 
JST資料番号: U0027A  ISSN: 1881-3054  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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本論文は,静電誘導給電方式を使用した水で,電気分解フリーマイクロ放電加工の加工特性を記述した。静電誘導給電方式により,脱イオン水を作動流体に使用する場合,バイポーラ電圧が加工ギャップに適用されるので,電気分解を防止することができる。微小孔のドリルの結果は,脱イオン水を用いた材料除去率がオイルでより高いことを示している。脱イオン水で加工した穴のオーバーサイズは,小さくなる。水道水においてさえも,この方法を用いても数μmのオーバーサイズである。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (6件):
  • (1) Masuzawa, T., State of the Art of Micromachining, Annals of the CIRP, Vol. 49, No. 2 (2000), pp.473-488.
  • (2) Masuzawa, T., Tsukamoto, J., Fujino, M., Drilling of Deep Microholes by EDM, Annals of the CIRP, Vol. 38, No. 1 (1989), pp. 195-198.
  • (3) Kunieda, M., Hayasaka, A., Yang, X. D., Sano, S. and Araie, I., Study on Nano EDM Using Capacity Coupled Pulse Generator, Annals of the CIRP, Vol. 56, No. 1 (2007), pp. 213-216.
  • (4) Masui, K., Sone, T., Transformer Coupling Circuit and its Application for Finishing Process of Wire Spark Erosion with Non-electrolytic Corrosion, Jounal of The Japan Society of Electrical Machining Engineers, Vol.24, No.47 (1990), pp.1-11 (in Japanese).
  • (5) Masuzawa, T., Fujino, M., Kobayashi, K., Suzuki, T., Kinoshita, N., Wire Electro-Discharge Grinding for Micro Machining, Annals of the CIRP, Vol. 34, No. 1 (1985), pp. 431-434.
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