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J-GLOBAL ID：201202249887064798   整理番号：12A1749923

誘導結合フルオロカーボンプラズマにおける気体-表面相互作用へのイオン寄与

Ion contributions to gas-surface interactions in inductively-coupled fluorocarbon plasmas

著者 (3件)： CUDDY Michael F. (Colorado State Univ., Dep. of Chemistry, Fort Collins, CO 80523-1872, USA) ,  BLECHLE Joshua M. (Colorado State Univ., Dep. of Chemistry, Fort Collins, CO 80523-1872, USA) ,  FISHER Ellen R. (Colorado State Univ., Dep. of Chemistry, Fort Collins, CO 80523-1872, USA)
資料名： International Journal of Mass Spectrometry  (International Journal of Mass Spectrometry)
巻： 330-332  ページ： 46-57  発行年： 2012年12月15日 
JST資料番号： D0625A  ISSN： 1387-3806  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ-表面界面において起る現象をより深く理解するために基板のプラズマ処理に関するプラズマ生成イオンの役割を検討した。CF₄,C₂F₆,C₃F₈,C₃F₆およびヘキサフルオロプロピレンオキシド(HFPO)を含む範囲のフルオロカーボン(FC)プラズマ原料気体の発生期イオンについてエネルギー分析を行った。所定のプラズマ系のすべての観測された発生期イオンの平均イオンエネルギー(<E_i>_total)は印加rfプラズマ電力と強く相関し,全平均エネルギーは15から90eVの範囲であった。特に,<E_i>_total値は表面と相互作用するラジカルのイメージング(IRIS)実験から決定された蒸着FC膜からのCF_xラジカルの表面散乱にも影響した。イオン限定IRIS測定においてCF_x化学種の散乱係数はすべての条件においてイオン豊富系と比べて顕著に減少し,気体-表面海面におkるCF_x挙動を決定するためにイオン媒介プロセスが重要であることを示唆した。質量分析技法を用いてオリゴマ膜前駆体の相対気相割合を決定した。CF₃に対するオリゴマ化学種の量はすべての系において膜蒸着に顕著に影響を及ぼし,オリゴマがFC膜成長に寄与するという考えを立証した。FC膜伝播への期待される寄与についてプラズマ系における低エネルギーイオンの役割に関する推測を提示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *気固界面 ,  脂肪族フッ素化合物 ,  誘導結合プラズマ ,  *イオン ,  エネルギー ,  オリゴマ ,  *プラズマ処理 ,  フロン
準シソーラス用語： イオンエネルギー ,  フルオロカーボン

分類 (3件)： 固-気界面一般  (CB12041H) ,  質量分析  (CC03013N) ,  脂肪族ハロゲン化合物  (CF03050P)

物質索引 (5件)： オクタフルオロプロパン ,  テトラフルオロメタン ,  ヘキサフルオロエタン ,  ヘキサフルオロプロピレン ,  ヘキサフルオロプロピレンオキシド

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘導結合 ,  フルオロカーボン ,  プラズマ ,  気体 ,  相互作用 ,  イオン