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J-GLOBAL ID：201202249941466147   整理番号：12A0597585

Siウエハの計測評価技術におけるノイズフィルタに関する研究-Total variationを用いたフィルタ設計-

著者 (5件)： 尾嶌裕隆 (茨城大) ,  野々村和隆 (茨城大 大学院) ,  ZHOU Libo (茨城大) ,  清水淳 (茨城大) ,  小貫哲平 (茨城大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F62  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体材料であるウエハの平坦化の要求が高くなっており,それに伴い計測技術も高精度化が求められている。しかし,計測にはノイズが必ず発生するため,本研究ではノイズ除去のためのフィルタ設計の研究を行ってきた。本報告では,トータルバリエーションを用いた新たなフィルタの設計について提案し,そのノイズ除去性能結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  *濾波器 ,  改変 ,  雑音発生 ,  フィルタ設計 ,  *雑音低減 ,  変化
準シソーラス用語： Siウエハ ,  *ノイズフィルタ ,  *ノイズ除去 ,  バリエーション ,  平坦化

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： Siウエハ ,  計測 ,  評価 ,  ノイズフィルタ ,  研究 ,  フィルタ設計