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J-GLOBAL ID：201202250055674640   整理番号：12A1743200

MEMSジャイロで狙うもの

Taking aim with MEMS GYROS

著者 (2件)： KAMRA Kapil (InvenSense Inc., Calif.) ,  MARKANDEY Vishal (InvenSense Inc., Calif.)
資料名： Machine Design  (Machine Design)
巻： 84  号： 16  ページ： 34,36,38-39  発行年： 2012年10月18日 
JST資料番号： D0003A  ISSN： 0024-9114  CODEN： MADEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固体素子のMEMSジャイロは,ビデオやスマートフォン用の低精度品(バイアス安定性が低い)だけではなく,超精密センシングに適用でき高精度品もある。本稿はCMOS構造の高精度MEMSジャイロの紹介を行う。初期の工業用ジャイロは3個のディスクリート素子を用いていため,プリント基板上への設置時に交差軸アライメント誤差が発生する可能性があり,その除去のために,頻繁な交差軸校正を要した。Inven Sense社のモーション追跡デバイスに使用されているMEMSジャイロMPV-3300の例では,真空封止された空洞中に3軸の振動機構を内蔵した単一チップ構造で,Coriolis力の検知原理を利用している。本素子は製造時に交差軸校正が実施され,システム統合段階での校正が不要である。バイアス安定性は1時間で15°,ARW(角度ランダムウオーク)ノイズも100s間隔で2°である。以上のことからMEMジャイロの小型化が実現された。

シソーラス用語： Coriolisの力 ,  *MEMS ,  *ジャイロスコープ ,  精度 ,  改良

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS ,  ジャイロ