文献

J-GLOBAL ID：201202250182031880   整理番号：12A0781368

ECMに近い条件下でのアノード溶解中の銅の表面トポグラフィーのIn-Situ観察

In-situ investigation of the surface-topography during anodic dissolution of copper under near-ECM conditions

著者 (5件)： SCHNEIDER M. (Fraunhofer-Inst. keramische Technologien und Systeme, Dresden, DEU) ,  SCHROTH S. (Fraunhofer-Inst. keramische Technologien und Systeme, Dresden, DEU) ,  SCHUBERT N. (Fraunhofer-Inst. keramische Technologien und Systeme, Dresden, DEU) ,  MICHAELIS A. (Fraunhofer-Inst. keramische Technologien und Systeme, Dresden, DEU) ,  MICHAELIS A. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU)
資料名： Materials and Corrosion  (Materials and Corrosion)
巻： 63  号： 2  ページ： 96-104  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： E0386A  ISSN： 0947-5117  CODEN： MTCREQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電解液として硝酸ナトリウム溶液を用いた電気化学加工(ECM)に近い条件の下での銅のアノード溶解中の表面凹凸をIn-Situ観察するために,特殊な電気化学セルを設計し,電流密度,電解液流速を変化させて表面の変化を観察した。セルはカソードの直下に加工物である銅アノードを350μmのギャップを介して設置し,カソード上部から顕微鏡でアノード表面を観察するものである。このセルを用いて,電解液速度4m/s,電流密度15A/cm²,25A/cm²で,パルス電気化学加工を行なった。溶解および酸素発生は結晶方位に依存する。電流密度25A/cm²の場合,溶解は過不働態域で起き,酸素発生も無く表面は鏡面となる。

シソーラス用語： 電解加工 ,  *陽極溶解 ,  *銅 ,  *トポグラフィー【形態】 ,  電流密度 ,  流速 ,  顕微鏡観察 ,  硝酸ナトリウム ,  酸素発生 ,  結晶方位

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： ECM ,  アノード溶解 ,  銅 ,  表面トポグラフィー ,  観察