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J-GLOBAL ID:201202250281089122   整理番号:12A0834278

電子ビーム蝋燭溶融法による溶融ケイ素中のリンの除去

Removal of phosphorus in molten silicon by electron beam candle melting
著者 (6件):
資料名:
巻: 78  ページ: 4-7  発行年: 2012年07月01日 
JST資料番号: E0935A  ISSN: 0167-577X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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この研究では,溶融ケイ素中のリンの除去の新しい方法である電子ビーム蝋燭溶融(EBCM)を提案し議論した。提案した方法は,電子ビーム溶融(EBM)と溶融Si中の高い飽和蒸気圧の特性を組合わせたものである。シミュレーションの結果は,3つの典型的温度分布,そして一定電力で種々の径の電子ビームの円形パターンに対応する溶融プールの形態の存在を示した。最大表面積と最小深さの臨界溶融プールを決定した。臨界溶融プールとなるEBCMは,EBMと比較して溶融Si中のP除去により有効なことが分かった。そのうえ,エネルギー利用率が増加した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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精錬 

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