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J-GLOBAL ID：201202250422597534   整理番号：12A1028054

スパッタAgO_x薄膜の還元によるナノ構造Ag膜の特性

Characteristics of nanostructured Ag films by the reduction of sputtered AgO_x thin films

著者 (7件)： ARAI T. (Nat. Inst. of Adv. Ind. Sci. & Technol., Tsukuba) ,  ROCKSTUHL C. ,  FONS P. ,  KURIHARA K. ,  NAKANO T. ,  AWAZU K. ,  TOMINAGA J.
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 17  号： 1  ページ： 79-82  発行年： 2006年 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化銀(AgO_x)薄膜から作製したナノ構造(Ag)膜の製造プロセスおよび光学的特性を詳細に研究した。AgO_x膜の還元において約50nmの直径のAgナノ粒子の形成を,走査電子顕微鏡(SEM)観察および断面透過顕微鏡(TEM)観察で鮮明に実証した。ナノ構造Ag膜の反射率スペクトルは強い局在表面プラズモン共鳴(LSPR)を示した。還元時間に伴う反射率スペクトルの変換はMie理論に基づく計算機シミュレーションと良く一致した。還元中のAgO_xの組成比をAg L_III端X線吸収端近傍構造(XANES)測定で解析した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *酸化銀 ,  *ナノ構造 ,  *銀 ,  還元 ,  *ナノ粒子 ,  電子顕微鏡観察 ,  反射スペクトル ,  プラズマ共鳴 ,  計算機シミュレーション ,  XANES ,  金属薄膜 ,  *銀ナノ粒子 ,  走査電子顕微鏡法 ,  断面透過型電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡法 ,  局在表面プラズモン共鳴 ,  Mie理論 ,  計算機利用 ,  利用

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  薄膜 ,  還元 ,  ナノ構造 ,  Ag