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J-GLOBAL ID：201202250477427158   整理番号：12A1652864

周波数領域に分割した信号を検出する片持梁アレイを組み合わせたアコースティックエミッションセンサの製作

Fabrication of Acoustic Emission Sensor Integrated with Cantilever Array for Detection of Signals Divided into Frequency Domain

著者 (5件)： KAWASHIMA Takahiro (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  MATSUI Atsushi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  MUTO Kazuo (Shizuoka Inst. Sci. and Technol., Shizuoka, JPN) ,  NAGAI Moeto (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  SHIBATA Takayuki (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 523/524  ページ： 575-580  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 材料の変形で生じる歪エネルギーの急速な放出により発生する過渡的弾性波であるアコースティックエミッション信号を検出するために,圧電膜を使ったAEセンサを開発した。しかし,このセンサはAE信号記録後に周波数領域解析が必要である。そこで,MEMS技術を使って,周波数領域に分割したAE信号を検出するために,共鳴周波数が異なる片持梁アレイを組み合わせたAEセンサを開発した。本報では片持梁構造を設計した。ANSYSを使ったシミュレーションと理論解析から,長さの減少とともに片持梁の共鳴周波数が100kHzから1MHzに増加することが分かった。そこで,製作した片持梁アレイの周波数特性を調べた。

シソーラス用語： 片持梁 ,  *周波数領域 ,  *センサ ,  圧電素子 ,  MEMS ,  プログラムパッケージ ,  周波数逓降 ,  共振周波数
準シソーラス用語： ANSYS ,  *アコースティックエミッションセンサ ,  周波数分割

分類 (1件)： 非破壊試験  (HB02030F)

タイトルに関連する用語 (5件)： 周波数領域 ,  片持梁 ,  アレイ ,  アコースティックエミッションセンサ ,  製作