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J-GLOBAL ID:201202251018428610   整理番号:12A0835006

非球面検査での放射照度伝達方程式の応用

Application of irradiance transport equation in aspheric surface testing
著者 (5件):
資料名:
巻: 123  号: 14  ページ: 1282-1286  発行年: 2012年07月 
JST資料番号: D0251A  ISSN: 0030-4026  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,非球面検査(AST)のための一つの方法を示した。この方法は,放射照度の伝達方程式(ITE)の解析に基づいた。シミュレーションから,ITE解の精度はデフォーカス距離の適当な選択に依存し,デフォーカスが最良の場合には,位相分布の空間拡大や山谷値に依存することを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
分類
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放射伝達,放射変調  ,  光デバイス一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
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