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J-GLOBAL ID：201202251149955062   整理番号：12A1194124

3自由度平面パラレルロボットの運動学的キャリブレーション

Kinematic calibration of a 3-DOF planar parallel robot

著者 (3件)： JOUBAIR Ahmed (Superior School of Technol., Montreal, CAN) ,  SLAMANI Mohamed (Superior School of Technol., Montreal, CAN) ,  BONEV Ilian A. (Superior School of Technol., Montreal, CAN)
資料名： Industrial Robot  (Industrial Robot)
巻： 39  号： 4  ページ： 392-400  発行年： 2012年 
JST資料番号： H0275B  ISSN： 0143-991X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい3自由度の平面パラレルロボットの絶対精度を改善するためのキャリブレーション方法について記述した。このロボットは,半導体ウエハーの精密アラインメントのために設計され,その完全なワークスペースは僅かに大きいが,その精度改善は目標ワークスペース内で実施される。キャリブレーション方法は,直接運動学的キャリブレーション法に基づいた単一の最適化モデルを使用しており,測定データは2つのキャリブレーションソースから集められる。第一のソースはFAROテクノロジー社の測定アームであり,第二はMitutoyo座標測定器(CMM)である。この2つのキャリブレーション結果を比較した。シミュレーションから,提案したモデルは測定ノイズに対して敏感ではなかった。CMMについての実験検証から,目標ワークスペース内での絶対精度は最大位置と角度の誤差を低減することによって改善することができた。

シソーラス用語： *産業用ロボット ,  *運動学 ,  *キャリブレーション ,  精度 ,  ウエハ【IC】 ,  精密加工 ,  作業空間 ,  モデル ,  座標測定機 ,  誤差 ,  非線形力学 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： *パラレルロボット ,  ワークスペース ,  最適化モデル ,  位置誤差

分類 (3件)： 力学  (BA04000D) ,  産業用ロボット  (IC04020M) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 3自由度 ,  パラレルロボット ,  運動学 ,  キャリブレーション