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J-GLOBAL ID：201202251175680667   整理番号：12A0577635

リニアモータの冷却技術と液冷リニアモータ

著者 (2件)： 柳啓二 (安川電機) ,  渡邉和也 (安川電機)
資料名： 技報安川電機  (Yaskawa Technical Review)
巻： 75  号： 4  ページ： 211-217  発行年： 2012年02月29日 
JST資料番号： F0381A  ISSN： 0918-242X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体・液晶製造装置など高精度・超精密な位置決めが求められる用途にリニアモータが多く適用されている。リニアモータは装置に組み込まれるため,リニアモータからの発熱が装置の性能などに影響を及ぼすおそれがある。そのため,用途に応じた冷却機構が求められる。近年,超精密用途以外でも装置に合った冷却機構を持つリニアモータの需要が増えている。このような背景のなか,今回,汎用のコアレス形リニアモータLinearΣシリーズに,超精密コアレス形リニアモータで培ってきた冷却技術を適用し,汎用の液冷コアレス形リニアモータを開発した。本稿では,用途ごとにニーズの異なるリニアモータの冷却性能に対して,当社が取り組んできた各種冷却技術を説明し,開発した液冷コアレス形リニアモータの特長,性能などを紹介している。(著者抄録)

シソーラス用語： *リニアモータ ,  機構 ,  液冷却 ,  *熱分析
準シソーラス用語： コアレス ,  温度特性 ,  *冷却機構 ,  冷却性能

分類 (1件)： 電磁機器  (NB10030C)

引用文献 (2件)：

• 1) 田邊, 宮本."LinearΣシリーズの機種拡充と高性能化".技報安川電機, Vol.68, No.265, p.194(2004, No.4)
• 2) 古谷, 稲永ほか. "超精密XYエアステージ". 技報 安川電機, Vol.69, No.268, p.158 (2005, No.3)

タイトルに関連する用語 (2件)： リニアモータ ,  液冷