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J-GLOBAL ID：201202251480128567   整理番号：12A1016434

酸化スズ系半導体ガスセンサの基礎および応用技術の研究開発

Basic and Applied Research and Development of Tin Oxide-based Semiconductor Gas Sensors

著者 (1件)： 大西久男 (大阪ガス エネルギー技研)
資料名： Chemical Sensors  (Chemical Sensors)
巻： 28  号： 2  ページ： 71-77  発行年： 2012年06月30日 
JST資料番号： L3948A  CODEN： KAGSEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： n型半導体であるZnOやSnO2等の金属酸化物の電気伝導度が,可燃性ガスと接触することにより数桁も増大する現象は,1950年代にHauffeやBielanskiらによって見い出されていたが,この物性をガスセンサとして利用することは,ちょうど半世紀前の1962年に清山らによって提案され,その後,田ロらにより実用化されている。それ以来,ガスセンサの分野においては,実用化研究だけでなく基礎研究においても,我が国の研究者の研究が質・量共に世界をリードし続けている。酸化スズは,他の金属酸化物半導体材料に比して長期間使用に伴う粒成長等による特性変化が小さい特長を有し,酸化スズ系半導体ガスセンサを搭載したガス警報器は年間数百万台販売され,ガスの供給・消費の安全・安心の維持に大きく貢献している。我々は,それまで提唱されてきたガス検知機構モデルが,ガス警報器用センサには必ずしも当てはまらないことを明らかにし,ガス警報器用に実用化されている酸化スズ系半導体ガスセンサの感度発現の基本メカニズムを明らかしてきた。また,これを基に,更なる高性能化を進めるため,高選択性メタンセンサ,電池駆動メタンセンサの開発に取り組んできた。本稿ではこれらの概要について紹介した。

シソーラス用語： *酸化スズ ,  *半導体 ,  *ガスセンサ ,  *技術 ,  *研究開発 ,  結晶粒粗大化 ,  警報装置 ,  ガス検出器 ,  感度 ,  選択性 ,  アルカン
準シソーラス用語： *基礎技術 ,  *利用技術 ,  粒成長

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  化学プロセスの測定,監視,計装  (XC02030Y) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： メタン

引用文献 (49件)：

• 1. K. Hauffe, Adv. in Catal., 7, 366 (1955).
• 2. A. Bielanski, J. Deren and J. Haber, Nature, 179, 668 (1957).
• 3. T. Seiyama, A. Kato, K. Fujishi and M. Nagatani, Anal. Chem., 34, 1502 (1962).
• 4. N. Taguchi, U. S. Patent, 3,695,848 (1972).
• 5. 清山哲郎,山添昇,二田穂積,電子化学,50,29(1982).

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸化スズ ,  ガスセンサ ,  基礎 ,  応用 ,  研究 ,  開発