抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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n型半導体であるZnOやSnO2等の金属酸化物の電気伝導度が,可燃性ガスと接触することにより数桁も増大する現象は,1950年代にHauffeやBielanskiらによって見い出されていたが,この物性をガスセンサとして利用することは,ちょうど半世紀前の1962年に清山らによって提案され,その後,田ロらにより実用化されている。それ以来,ガスセンサの分野においては,実用化研究だけでなく基礎研究においても,我が国の研究者の研究が質・量共に世界をリードし続けている。酸化スズは,他の金属酸化物半導体材料に比して長期間使用に伴う粒成長等による特性変化が小さい特長を有し,酸化スズ系半導体ガスセンサを搭載したガス警報器は年間数百万台販売され,ガスの供給・消費の安全・安心の維持に大きく貢献している。我々は,それまで提唱されてきたガス検知機構モデルが,ガス警報器用センサには必ずしも当てはまらないことを明らかにし,ガス警報器用に実用化されている酸化スズ系半導体ガスセンサの感度発現の基本メカニズムを明らかしてきた。また,これを基に,更なる高性能化を進めるため,高選択性メタンセンサ,電池駆動メタンセンサの開発に取り組んできた。本稿ではこれらの概要について紹介した。