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J-GLOBAL ID：201202251593229912   整理番号：12A1000309

スパッタリングとの50年の再録

Recollections of fifty years with sputtering

著者 (1件)： SIGMUND Peter
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 19  ページ： 6031-6049  発行年： 2012年07月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,イオンボンバードメントによるスパッタリングの理解におけるマイルストーンを辿ることを目的とした。この分野は,1955年と1980年代の終わりとの間に急速に発展したが,多数の重要な側面について,現在もまだ活発な研究が行われている。本報告では,スパッタ放出の過程に関する理解の発展に重点を置いた。この報告の記述は,主に,本文に引用した理論からの結果に支持された物理的議論に基づいて行った。この分野では多数の研究グループの寄与がある。その全てを正当に評価することは,この限られた枠内ではほとんど不可能であることが分かった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *イオンビームスパッタリング ,  *イオン照射 ,  収率 ,  異方性 ,  輸送理論 ,  シミュレーション ,  分子動力学
準シソーラス用語： モンテカルロシミュレーション

分類 (1件)： 電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

タイトルに関連する用語 (1件)： スパッタリング