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J-GLOBAL ID:201202251707288205   整理番号:12A0972907

透明サンプルの位相プロファイル測定のためのMach-Zehnder配置に基づいた可調整窓格子干渉計

Adjustable-window grating interferometer based on a Mach-Zehnder configuration for phase profile measurements of transparent samples
著者 (7件):
資料名:
巻: 51  号:ページ: 055601.1-055601.7  発行年: 2012年05月 
JST資料番号: B0577B  ISSN: 0091-3286  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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透明サンプルの位相プロファイルを測定する方法として,位相シフト干渉法が広く利用されている。位相シフト干渉法では,位相物体の位相プロファイルを測定する場合,偏光変調が利用されている。Mach-Zehnder配置の技術により,表面測定の精度が高くなる。本論文では,Mach-Zehnder配置に基づいた可調整窓格子干渉計について検討した。4f配置とMach-Zehnder配置を組み合わせて,可調整窓位相格子をFourier平面に置いた。干渉計の各ビームを複屈折波プレートで伝搬させることで,反対方向の偏光回転を達成した。格子周期に対して窓の間隔を変えて,ビーム干渉を達成した。干渉縞の同時観測の実験結果を示した。可調整窓格子干渉計により,透明サンプルの位相プロファイルを高精度に測定できることが判明した。
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分類 (1件):
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干渉測定と干渉計 

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