文献

J-GLOBAL ID：201202251956555949   整理番号：12A0593619

プロピオン酸塩ベース金属有機コーティング(MOD)法を用いた立方体組織NiW基板上CeO₂膜のエピタキシャル成長

Epitaxial growth of CeO₂ thin film on cube textured NiW substrate using a propionate-based metalorganic deposition (MOD) method

著者 (10件)： CIONTEA L. (Materials Sci. Lab., Technical Univ. of Cluj-Napoca, Str. Memorandumului 28, Cluj-Napoca, ROM) ,  RISTOIU T. (Materials Sci. Lab., Technical Univ. of Cluj-Napoca, Str. Memorandumului 28, Cluj-Napoca, ROM) ,  MOS R.b. (Materials Sci. Lab., Technical Univ. of Cluj-Napoca, Str. Memorandumului 28, Cluj-Napoca, ROM) ,  NASUI M. (Materials Sci. Lab., Technical Univ. of Cluj-Napoca, Str. Memorandumului 28, Cluj-Napoca, ROM) ,  PETRISOR T. (Materials Sci. Lab., Technical Univ. of Cluj-Napoca, Str. Memorandumului 28, Cluj-Napoca, ROM) ,  GABOR M.s. (Materials Sci. Lab., Technical Univ. of Cluj-Napoca, Str. Memorandumului 28, Cluj-Napoca, ROM) ,  MANCINI A. (ENEA Frascati, Via Enrico Fermi 45, 00044 Frascati, Roma, ITA) ,  RUFOLONI A. (ENEA Frascati, Via Enrico Fermi 45, 00044 Frascati, Roma, ITA) ,  CELENTANO G. (ENEA Frascati, Via Enrico Fermi 45, 00044 Frascati, Roma, ITA) ,  PETRISOR T. (Materials Sci. Lab., Technical Univ. of Cluj-Napoca, Str. Memorandumului 28, Cluj-Napoca, ROM)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 133  号： 2-3  ページ： 772-778  発行年： 2012年04月16日 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プロピオン酸塩ベース金属有機コーティング(MOD)法を用い,(001)[100]Ni-W二軸組織基板上でCeO₂膜をエピタキシャル成長させた。析出時CeO₂膜は,各約7.15°と7.8°のφとω走査の半値全幅(FWHM)で,はっきりした二軸組織を示した。面内と面外エピタキシャル関係は,各[001]CeO₂//[001]Ni-Wと[100]CeO₂//[110]Ni-Wである。膜形態は膜厚や結晶化温度と強い相関がある。このように1100°Cで結晶化した0.3μm厚膜は,亀裂や空孔の無い二乗平均平方根(RMS)約2.5nmの平滑な表面を持つ一方,1.1μm厚膜は多くの亀裂や低密度空孔を示した。より厚い膜で認めた基板粒界に沿った亀裂は,急冷過程で膜の熱膨張係数と金属Ni-W基板間の差に起因し,既に結晶化した膜で生じた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *カルボン酸エステル ,  *カルボン酸塩 ,  *脂肪族カルボン酸 ,  セリウム錯体 ,  *基板 ,  *ニッケル合金 ,  *タングステン含有合金 ,  *酸化セリウム ,  *エピタクシー ,  FWHM ,  *有機金属化合物 ,  *スピンコーティング ,  膜厚 ,  晶出温度 ,  形態 ,  相関 ,  滑面 ,  依存性 ,  熱膨張係数 ,  亀裂 ,  *皮膜 ,  脂肪族ケトン ,  ジケトン
準シソーラス用語： *コーティング膜 ,  *プロピオン酸塩 ,  *金属基板 ,  *金属有機化合物 ,  結晶化温度 ,  厚さ依存性 ,  半値全幅 ,  平滑面

分類 (3件)： 有機第3族元素化合物  (CF09053E) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I)

物質索引 (1件)： 2,4-ペンタンジオン

タイトルに関連する用語 (7件)： プロピオン酸塩 ,  ベース金属 ,  コーティング ,  法 ,  立方体 ,  組織 ,  エピタキシャル成長