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J-GLOBAL ID：201202251972844772   整理番号：12A0564489

ラボオンチップに供するナノ濾過モジュールのマイクロマシニング

Micromachined nanofiltration modules for lab-on-a-chip applications

著者 (4件)： SHEN C (TU Delft, NLD) ,  MOKKAPATI V R S S (Austrian Inst. Technol., Vienna, AUT) ,  PHAM H T M (TU Delft, NLD) ,  SARRO P M (TU Delft, NLD)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 2  ページ： 025003,1-10  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,ラボオンチップ(LOC)装置に供する粒子濾過モジュールの新概念を提案した。その特徴は,流体のマイクロチャネルを分離する垂直壁としての設計にある。隣接するマイクロチャネルを接続するナノチャネルは,これらの壁の中に埋め込まれている。したがって,流体とナノチャネルよりも小さい粒子は,壁を浸透することができる。そして,流体をLOCの表面に保持することによって,モジュールと他のLOCモジュールとの統合を容易に行うことができる。これらのモジュール製作のために,本報では,化学蒸着法を用いて犠牲層の蒸着とそれらの壁構造への埋め込みを行なった。この製造法によると,従来の確立されたMEMSプロセスツールを用いて,ナノメートル高さのチャネルを高精度かつ一様に生成することが可能である。

シソーラス用語： *分析機器 ,  *ナノ濾過 ,  モジュール ,  *マイクロマシニング ,  *半導体チップ ,  *チャネル ,  *MEMS ,  集積回路 ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： ラボオンチップ

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (4件)： ラボオンチップ ,  ナノ濾過 ,  モジュール ,  マイクロマシニング