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J-GLOBAL ID：201202252011158133   整理番号：12A1486409

超音波振動を利用したハイアスペクトタッチプローブの開発

著者 (2件)： 西嶋隆 (岐阜県工技研) ,  田中泰斗 (岐阜県工技研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.B08  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報告は,マクロ領域と呼ばれる通常サイズの領域におけるタッチプローブの高度化に関するものである。近年では加工技術の高度化に伴い多様な形状の加工が可能となってきた一方,深い細溝や細穴の計測が困難となっている。本開発では,マイクロ領域やナノ領域での応用が知られている振動を用いたタッチプローブに着目し,通常のマクロ領域の測定における高いアスペクト比のタッチプローブを開発する。(著者抄録)

シソーラス用語： *プローブ ,  *アスペクト比 ,  微細構造 ,  *接触

分類 (1件)： その他の音響応用  (BB03100I)

タイトルに関連する用語 (2件)： 超音波振動 ,  開発