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J-GLOBAL ID：201202252195394225   整理番号：12A0652303

大きい保磁力と小さい結晶粒径とを有する良く分離したL1₀型FePt-SiN_x-Cナノ複合材料薄膜

Well-isolated L1₀ FePt-SiN_x-C nanocomposite films with large coercivity and small grain size

著者 (6件)： DONG K. F. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Univ. of Singapore, Singapore 117576, SGP) ,  LI H. H. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Univ. of Singapore, Singapore 117576, SGP) ,  PENG Y. G. (Seagate Technol., Fremont, California 94538, USA) ,  JU G. (Seagate Technol., Fremont, California 94538, USA) ,  CHOW G. M. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Univ. of Singapore, Singapore 117576, SGP) ,  CHEN J. S. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Univ. of Singapore, Singapore 117576, SGP)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 111  号： 7  ページ： 07A308-07A308-3  発行年： 2012年04月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大きい保磁力,(001)組織,および小さい結晶粒径を有するFePt-SiN_x-C薄膜を,380°Cでの,FePt,Si₃N₄,およびCターゲットの同時スパッタリングにより,TiN/CrRu/ガラス基板上で得た。FePt-SiN_x薄膜にCをドープすると,面外保磁力は増大するが,小さい面内保磁力は変化しないことが分かった。Cドーピング濃度の増大に伴って,結晶粒径は減少し,結晶粒度分布は一層均一になった。X線光電子分光法(XPS)深さプロフィルは,FePt層でのSiの均一な深さ分布を示した。Si2p XPSスペクトルは,Fe-Si結合の存在を示唆し,SiN_xがFePt粒界に位置し,表面への拡散に対して安定であり,したがって,結晶粒の分離をもたらすことを示した。40体積%のSiN_xおよび20体積%のCのドーピングにより,21.5kOe超の保磁力と5.6nmの平均粒径とを有する良く分離したFePt(001)粒状薄膜を得た。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ナノ複合材料 ,  ナノ構造 ,  *超薄膜 ,  *白金合金 ,  鉄含有合金 ,  *窒化ケイ素 ,  ドーピング ,  炭素 ,  スパッタ蒸着 ,  基板 ,  ガラス ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  ルテニウム合金 ,  クロム含有合金 ,  結晶粒径 ,  *磁性薄膜 ,  濃度依存性 ,  保磁力 ,  強磁性 ,  磁気ヒステリシス ,  金属間化合物 ,  粒度分布 ,  X線光電子スペクトル ,  深さプロフィル ,  組織 ,  結晶方位 ,  *磁性材料 ,  ナノシート
準シソーラス用語： L10型金属間化合物 ,  ナノ薄膜 ,  窒化チタン

分類 (3件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 保磁力 ,  結晶粒径 ,  ナノ複合材料 ,  薄膜