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J-GLOBAL ID：201202252292095070   整理番号：12A1371596

軸上Fizeau干渉測定を利用した単発並列四ステップ位相シフト

Single-shot parallel four-step phase shifting using on-axis Fizeau interferometry

著者 (5件)： ABDELSALAM D. G. ,  YAO Baoli ,  GAO Peng ,  MIN Junwei ,  GUO Rongli
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 51  号： 20  ページ： 4891-4895  発行年： 2012年07月10日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文の目的は三つある。(1)参照として平坦度の高い四分の一波長板を利用して,並列位相シフトFizeau干渉測定の可能性を示すこと,(2)表面微地形測定での軸外構造と位相シフトアルゴリズムを比較研究すること,(3)準一般光路Michelson干渉測定と比較して,提案した一般光路Fizeau干渉測定の利点を,測定精度の点で示すことであった。提案した並列位相シフトFizeau干渉技術の利点は,長期安定性であり,高精度で物体を測定できることであった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 位相板 ,  複屈折 ,  学習アルゴリズム ,  *位相シフト ,  安定性 ,  測定精度 ,  *干渉測定 ,  平坦性 ,  並列処理 ,  *Michelson干渉計
準シソーラス用語： Fizeau干渉計 ,  *位相シフト干渉法

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (2件)： 干渉測定 ,  位相シフト