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J-GLOBAL ID：201202252325285130   整理番号：12A0806384

3軸ピエゾ抵抗MEMS加速度計の設計とシミュレーション

DESIGN AND SIMULATION FOR TRI-AXIAL PIEZORESISTIVE MEMS ACCELEROMETER

著者 (3件)： LIU Meng (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  ZHANG Wei (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  HAO Yilong (Peking Univ., Beijing, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 503  ページ： 312-317  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一つの振動性重りと8本のはりで構成された3軸加速度計の挙動を解析モデルで提示し,加速度計を設計した。さらに,有限要素解析ソフトウェアANSYSを用いて,静的な高い重力下で,加速度計の挙動をシミュレーションした。シミュレーションの結果と理論から,設計した加速度計が実現可能であることが分かった。

シソーラス用語： *加速度計 ,  設計 ,  計算機シミュレーション ,  *解析モデル ,  *有限要素法 ,  錘 ,  梁 ,  *圧抵抗効果
準シソーラス用語： *MEMS加速度計

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 3軸 ,  ピエゾ抵抗 ,  MEMS ,  加速度計 ,  設計 ,  シミュレーション