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J-GLOBAL ID：201202252487940620   整理番号：12A0810790

希薄ガス流の熱的特性評価のためのセンサー装着型の微細流路システム

A sensor-equipped microchannel system for the thermal characterization of rarefied gas flows

著者 (3件)： VITTORIOSI Alice (Karlsruhe Inst. of Technol. (KIT), Inst. for Micro Process Engineering, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, D-76344 ...) ,  BRANDNER Juergen J. (Karlsruhe Inst. of Technol. (KIT), Inst. for Micro Process Engineering, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, D-76344 ...) ,  DITTMEYER Roland (Karlsruhe Inst. of Technol. (KIT), Inst. for Micro Process Engineering, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, D-76344 ...)
資料名： Experimental Thermal and Fluid Science  (Experimental Thermal and Fluid Science)
巻： 41  ページ： 112-120  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： T0618A  ISSN： 0894-1777  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報告では統合型測定システムを有する新規のMEMS基盤型実験設計法を提示した。予測される用途には微細流路内のガスの圧力駆動型の滑り流れに対する温度分布の測定がある。しかし他の流れ領域におけるガス流の特性評価にも適用可能とする。希薄ガス流の特性評価はシステムの物理的特性を完全に理解するために局所解析が必要となる代表的事例を表現する。低圧のガス流用途に対する実験装置について記述した。完全統合型の測定システムは薄膜メンブレンの頂部に製作してあり微細流路の内側部分とその壁面との間の温度差を求めるのに使用する。更に基準基板表面温度を監視するための小型サーミスターも作製した。センサーの製造プロセス及び提案した校正手法についても報告した。最後に,統合型測定システムの検証と特性評価のための予備的結果を与えた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *希薄気体 ,  気体流 ,  表面温度 ,  *温度測定 ,  キャラクタリゼーション ,  温度センサ ,  微細構造 ,  *チャネル流 ,  計測システム ,  MEMS ,  実験計画法 ,  滑り流

分類 (3件)： 希薄気体力学  (BC04000J) ,  伝熱一般・基礎  (PA02010O) ,  管内流  (BC02090Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： 希薄ガス ,  熱的特性評価 ,  センサー ,  装着型 ,  微細流路