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J-GLOBAL ID：201202252689353190   整理番号：12A1056761

N-トリメチルボラジン+アンモニア混合物からのBCN化学蒸着の熱力学モデリング

Thermodynamic modeling of BCN chemical vapor deposition from N-trimethylborazine + ammonia mixtures

著者 (4件)： GOLUBENKO A. N. (Novosibirsk State Univ., ul. Pirogova 2, 630090, Novosibirsk, RUS) ,  KOSINOVA M. L. (Russian Acad. of Sciences, Nikolaev Inst. of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, pr. Akademika Lavrent’eva 3 ...) ,  TITOV A. A. (Russian Acad. of Sciences, Nikolaev Inst. of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, pr. Akademika Lavrent’eva 3 ...) ,  KUZNETSOV F. A. (Russian Acad. of Sciences, Nikolaev Inst. of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, pr. Akademika Lavrent’eva 3 ...)
資料名： Inorganic Materials  (Inorganic Materials)
巻： 48  号： 7  ページ： 691-694  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： A1063A  ISSN： 0020-1685  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： ロシア (RUS)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： アンモニア ,  混合物 ,  化学蒸着 ,  熱力学 ,  モデリング