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J-GLOBAL ID：201202252702522745   整理番号：12A1098732

スクイーズ膜気体減衰のマイクロ梁に対する非線形影響

Nonlinear effects in squeeze-film gas damping on microbeams

著者 (3件)： CHIGULLAPALLI S (Purdue Univ., IN, USA) ,  WEAVER A (Purdue Univ., IN, USA) ,  ALEXEENKO A (Purdue Univ., IN, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 6  ページ： 065010,1-7  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 加速度計,RFスイッチやフィルタのような各種のMEMSデバイスでは,大きい変位運動に微細構造が関係する。これらのデバイスの動力学は,機械的,電気的および流体現象の組合せに支配される。デバイスサイズが減少すると表面力が容積力より支配的となる。本稿では,各種ビーム速度と異なるKnudsen数に対して減衰力の影響をBoltzmannモデル運動方程式により示した。ギャップ対幅比34の下方と上方に動くビーム間の減衰力の差は,0.1ms^-1のビーム速度での5%から2.4ms^-1の200%に変化する。0.8ms^-1の定速度に対しては,この差は圧力が1桁減少したとき60%からほぼ90%に増加する。この減衰力の非線形依存性の物理的メカニズムはマイクロギャップにおける流量希薄化領域の差と考えられる。

シソーラス用語： *スクイーズ膜 ,  ビーム ,  MEMS ,  微細構造 ,  変位 ,  動力学 ,  表面力 ,  Knudsen数 ,  *減衰能 ,  Boltzmann方程式 ,  運動方程式 ,  非線形性 ,  減少 ,  小梁
準シソーラス用語： *マイクロ梁 ,  希薄化 ,  減衰力

分類 (1件)： 構造力学一般  (HD01000X)

タイトルに関連する用語 (5件)： スクイーズ膜 ,  気体 ,  減衰 ,  マイクロ梁 ,  非線形