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J-GLOBAL ID：201202252729503998   整理番号：12A0215127

Li₃PO₄およびLi₂Oの混合粉末標的から作製したLiPON膜の電気化学的性質

Electrochemical properties of LiPON films made from a mixed powder target of Li₃PO₄ and Li₂O

著者 (3件)： SUZUKI Naoki ,  INABA Tadashi ,  SHIGA Tohru
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 6  ページ： 1821-1825  発行年： 2012年01月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無線周波数マグネトロンスパッタリングによりオキシ窒化リチウムりん(LiPON)膜を調製した。膜の原子組成を制御するために,スパッタリング標的としてLi₃PO₄およびLi₂O粉末の混合物を用いた。Li₂Oに対するLi₃PO₄のモル比が1:2のときに膜のイオン伝導率は最大値(6.4×10^-6S/cm)を示した。Li₂Oを含まない標的から形成される膜は,わずかにより低いイオン伝導率を犠牲にして空気中で良好な耐性を示した。これはおそらく,空気中のCO₂の吸着を効率的に抑制した膜中のLi量が有意により少ないためである。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化物 ,  *窒化物 ,  *リン化合物 ,  *リチウム化合物 ,  スパッタ蒸着 ,  *蒸着膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  化学組成 ,  リン酸リチウム ,  酸化リチウム ,  *電気伝導率 ,  耐性
準シソーラス用語： オキシ窒化物 ,  *イオン伝導率

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体中の拡散一般  (BL06021L)

タイトルに関連する用語 (6件)： Li2O ,  混合粉末 ,  標的 ,  作製 ,  LiPON ,  電気化学的性質