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J-GLOBAL ID:201202252942560849   整理番号:12A1241035

RF大気圧プラズマの活性酸素の壁フラックスと剪断動力学への依存性

Wall fluxes of reactive oxygen species of an rf atmospheric-pressure plasma and their dependence on sheath dynamics
著者 (7件):
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巻: 45  号: 30  ページ: 305205.1-11  発行年: 2012年08月01日 
JST資料番号: B0092B  ISSN: 0022-3727  CODEN: JPAPBE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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多くの分野で低温大気圧プラズマの応用が注目されている。He-O2混合気体中のRF大気圧プラズマを流体モデルを用いて調べた。主要な壁フラックスは基底状態のO,O2+,O-であった。壁フラックスは電極に隣接する厚み3~300μmの境界層から供給された。壁フラックス全体の化学組成は鞘内の電子温度と電子密度の空間時間特性に大きく依存した。カチオンとアニオンの壁フラックスはナノ秒パルス列から構成され,中性粒子の壁フラックスは時間不変であった。
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分類 (1件):
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プラズマ一般 

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