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J-GLOBAL ID：201202252994847712   整理番号：12A0759325

反応性蒸着法に基づく新しい処理法を用いて成長したZnO膜

ZnO films grown using a novel procedure based on the reactive evaporation method

著者 (3件)： OYOLA J.s. (Departamento de Fisica, Universidad Nacional de Colombia, Bogota DC, Colombia) ,  CASTRO J.m. (Departamento de Fisica, Universidad Nacional de Colombia, Bogota DC, Colombia) ,  GORDILLO G. (Departamento de Fisica, Universidad Nacional de Colombia, Bogota DC, Colombia)
資料名： Solar Energy Materials and Solar Cells  (Solar Energy Materials and Solar Cells)
巻： 102  ページ： 137-141  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： D0513C  ISSN： 0927-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性蒸着法に基づく新しい処理法を開発して,高透明i-ZnOとn⁺-ZnO薄膜のその場堆積を行った。ZnO膜のオプト電気特性を最適化して太陽電池の透明導電性酸化物(TCO)層として利用した。作成パラメータの最適化は,透過率と抵抗率を用いて定義した有効指標を使って行った。可視域で80%以上の透過率をもち,抵抗率8×10^-4Ωcm付近の抵抗率をもつn⁺-ZnO膜と10⁵Ωcm付近の抵抗率をもつi-ZnO膜をこの方法で実現した。i-ZnOとn⁺-ZnO薄膜の光起電力素子への応用性を実証するために,これらをCuInS₂(CIS)をベースとする太陽電池の拡散障壁およびTCO層として利用した。反応性蒸着で堆積したZnO薄膜を用いたCISベース太陽電池で,9.1%の変換効率を実現した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 化学蒸着 ,  *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  *太陽電池 ,  *酸化物 ,  パラメータ ,  最適化 ,  透過率 ,  電気抵抗率 ,  光透過 ,  指標
準シソーラス用語： 反応性蒸着 ,  *透明導電性酸化物 ,  有効指標 ,  *CIS薄膜太陽電池

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 反応性蒸着 ,  処理法 ,  成長 ,  ZnO