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J-GLOBAL ID:201202253089174255   整理番号:12A0670528

誘電力顕微鏡を用いたナノ材料の電子的性質の無接触特性化

Contactless Characterization of Electronic Properties of Nanomaterials Using Dielectric Force Microscopy
著者 (10件):
資料名:
巻: 116  号: 12  ページ: 7158-7163  発行年: 2012年03月29日 
JST資料番号: W1877A  ISSN: 1932-7447  CODEN: JPCCCK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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誘電力顕微鏡(DFM)を用いて電界効果トランジスター構築のためのナノ材料の電子的性質を検討した。p++Si上にシリカ被覆した基板上のナノ材料を誘電顕微鏡のカンチレバーで走査し,形態と誘電力を調べた。単壁カーボンナノチューブ(SWNT)とZnOナノワイヤー(NW)中にDFMチップの電圧に依存した半導体性キャリアの分布を示し,SWNTがp型半導体だったのに対してZnO NWはn型だった。DFMは優れた空間マッピング能力を有し,SWNTのチューブ内の金属-半導体接合部を示した。ゲートバイアス電圧を変えると空孔密度が変化したが,誘電応答は変わらなかった。ゲート変調比によってSWNTの金属性を調節可能で,この比が0.9から1.2の範囲ではSWNTは金属性だったが,0.3から0.8の範囲では半導体性だった。今回の結果からDFMイメージングへのゲートバイアス電圧の取り込みを用いて誘電応答イメージイングを通して電導度を間接的に検出できることを示唆した。
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分類 (2件):
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顕微鏡法  ,  分子の電子構造 
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