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J-GLOBAL ID：201202253372186561   整理番号：12A1711789

半導体製造工程で使われている計測機器・装置 装置組込型TOCモニターの活用

著者 (1件)： 榎木努 (テイ・アンド・シー・テクニカル)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 40  号： 13  ページ： 21-24  発行年： 2012年12月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体,液晶業界で使用される製造用水の純度は極限にまで近づいており,その水質レベルを保証するため高分解能のTOC計を使って管理している。本報で紹介した装置組込型TOCモニター「アキュラミニ」は,小型純水製造装置や洗浄装置への組込型として開発されたTOCモニターである。装置組込型TOCモニターアキュラミニは高分解能型ではないため,モニターという位置付けとなる。まず,TOC(全有機炭素)とは何かを説明した。また,測定原理と特徴,洗浄装置におけるTOC管理,(株)ティ・アンド・シー・テクニカルのTOC計ラインアップにつき述べた。

シソーラス用語： *純水 ,  純度 ,  *半導体プロセス ,  不純物 ,  *監視装置 ,  TOC【炭素】 ,  *品質管理

分類 (2件)： 品質管理一般  (KB04010A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 半導体製造工程 ,  計測機器 ,  組込 ,  TOC ,  モニター ,  活用