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J-GLOBAL ID：201202253408125882   整理番号：12A1237471

読み取り専用メモリーのための機能性マスクとしてのビスマスドープアンチモンベース薄膜の超分解能読み出し特性

Super-resolution readout property of bismuth-doped antimony-based thin film as a functional mask for read-only memory

著者 (5件)： LU Xinmiao (Chinese Acad. of Sciences, Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, No. 390, Qinghe Road, Jiading District ...) ,  WU Yiqun (Chinese Acad. of Sciences, Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, No. 390, Qinghe Road, Jiading District ...) ,  WU Yiqun (Heilongjiang Univ., Ministry of Education, Key Lab of Functional Inorganic Material Chemistry, 150080, Harbin, CHN) ,  WANG Yang (Chinese Acad. of Sciences, Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, No. 390, Qinghe Road, Jiading District ...) ,  WEI Jingsong (Chinese Acad. of Sciences, Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, No. 390, Qinghe Road, Jiading District ...)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 108  号： 4  ページ： 765-769  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 読み取り専用メモリー(ROM)の超分解能読み出しのための機能性マスクとして,ビスマスドープアンチモンベース(Sb_100-xBi_x,x=2.46)薄膜を作製した。ROMのピットサイズは390nmで,780nmのレーザ波長と開口径0.45の対物レンズによるダイナミックテスターで超分解能読み出しが実現された。22dBのキャリア対ノイズ比(CNR),0.8mWの読み出し閾値パワー,2×10⁴回の超分解能読み出しが達成された。CNRに及ぼす膜厚と読み出しパワーの影響を研究した。780nmで異なる温度で薄膜の反射率と透過率を測定し,機能性マスク層としてのビスマスドープアンチモンベース薄膜の超分解能機構を考察した。Copyright 2012 Springer-Verlag Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ROM【メモリ】 ,  *ビスマス ,  *ドーピング ,  *アンチモン ,  金属薄膜 ,  データ読取 ,  反射率 ,  透過率 ,  機能材料 ,  比率 ,  不揮発性メモリ ,  マグネトロンスパッタリング
準シソーラス用語： CNR ,  *マスクROM

分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 読み取り ,  メモリー ,  機能性 ,  マスク ,  薄膜 ,  超分解能 ,  読み出し