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J-GLOBAL ID:201202253452515744   整理番号:12A1668573

GaNエピタキシャル層の反射率スペクトルの干渉パターンはキャリア密度の重要な情報を与え得るか

Can interference patterns in the reflectance spectra of GaN epilayers give important information of carrier concentration?
著者 (7件):
資料名:
巻: 101  号: 19  ページ: 191102-191102-3  発行年: 2012年11月05日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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サファイア基板上に有機金属化学気相成長法(MOCVD)により成長させたドーピング濃度の異なるSiドープGaNエピタキシャル層の低温反射率スペクトルを測定した。バンド端における励起子ポラリトン共鳴構造に加え,バンドギャップの十分下のエネルギー領域で干渉振動パターンを観測した。これらの振動パターンの振幅は試料のドーピング濃度に明確に依存した。薄膜の光干渉原理から,不純物散乱と干渉振動の振幅を繋ぐ手法を確立した。実験と理論は良く一致した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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半導体と絶縁体の電気伝導一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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