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J-GLOBAL ID：201202254146592693   整理番号：12A0957282

超高感度-帯域幅積の新規圧電抵抗高g加速度計形状

Novel piezoresistive high-g accelerometer geometry with very high sensitivity-bandwidth product

著者 (4件)： KUELLS Robert (Fraunhofer Inst. for High-Speed Dynamics, Ernst-Mach-Institut, EMI, Eckertstr. 4, 79104 Freiburg, DEU) ,  NAU Siegfried (Fraunhofer Inst. for High-Speed Dynamics, Ernst-Mach-Institut, EMI, Eckertstr. 4, 79104 Freiburg, DEU) ,  SALK Manfred (Fraunhofer Inst. for High-Speed Dynamics, Ernst-Mach-Institut, EMI, Eckertstr. 4, 79104 Freiburg, DEU) ,  THOMA Klaus (Fraunhofer Inst. for High-Speed Dynamics, Ernst-Mach-Institut, EMI, Eckertstr. 4, 79104 Freiburg, DEU)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 182  ページ： 41-48  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,感度を犠牲にせずに帯域幅すなわち自然周波数を増大できないという衝撃センサの概念の共通した欠点を部分的に解決する新規圧電高g加速度計設計について報告する。(周波数の二乗と感度の積である)性能指数は約5×10⁶m^-1であった。これは,文献や現在の市場にある既存の設計よりも一桁大きい。応力よりも変位に着目する設計寸法と,「形状的定数」と呼ばれるばね質量系関連パラメータを利用することにより増大を可能にする。本概念により初期設計形状を見出すことが出来る。それを更に最適化に使用でき,そして加速度計以外のセンサに応用できるかも知れない。MEMSデバイスとして本稿で記す自律圧電要素を特徴とする加速度計設計を行う。最初の例はHopkinsonバー実験で75,000×gまでの衝撃で特性評価し,0.035から0.23μV/V_exc./gの感度領域であり,2.7から3.7MHzの自然周波数域である。200,000×g生存性確認の測定データも示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *電気抵抗 ,  *加速度計 ,  *帯域幅 ,  性能指数 ,  ばね質点振動系 ,  パラメータ ,  最適化 ,  センサ ,  MEMS ,  形態 ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： MEMSデバイス ,  ばね質量系 ,  圧電抵抗 ,  *形状 ,  特性評価

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高感度 ,  帯域幅 ,  積 ,  圧電抵抗 ,  加速度計