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J-GLOBAL ID：201202254733677022   整理番号：12A0379152

積層光パイプからなる革新的な光導波構造を有する1.4μm前面照明イメージセンサ

A 1.4μm front-side illuminated image sensor with novel light guiding structure consisting of stacked lightpipes

著者 (15件)： WATANABE Hisashi (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  HIRAI Jun (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  KATSUNO Motonari (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  TACHIKAWA Keishi (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  TSUJI Sho (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  KATAOKA Masao (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  KAWAGISHI Saori (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  KUBO Hiroko (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  YANO Hisashi (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  SUZUKI Shigeru (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  OKAZAKI Gen (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  YAMAMOTO Kouichi (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  FUJINAKA Hiroshi (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  FUJIOKA Takashi (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  SUZUKI Masakatsu (Panasonic Corp., Kyoto, JPN)
資料名： Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻： 2011  ページ： 179-182  発行年： 2011年 
JST資料番号： C0829B  ISSN： 0163-1918  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,裏面照射イメージ(BSI)センサが広まってきたが,余分なプロセスが必要であり,また暗電流の問題等の欠点がある。本論文では,高屈折率光パイプ上の分割カラーフィルタアレイを分割するための分離壁から成る革新的な光導入構造(”スマートFSI^TM”)を持った1.4μm前面照射イメージ(FSI)センサについて述べる。このセンサは,300mmウェハ上に,45nmCuプロセスを使用して製作した。そして,裏面照射イメージ(BSI)センサの性能を超える,75%の高量子効率(QE)と40°の最大入射角を実証した。

シソーラス用語： *光導波路 ,  積層構造 ,  データ処理 ,  *イメージセンサ ,  ウエハ【IC】 ,  銅 ,  メタライゼーション ,  パターン形成 ,  量子効率 ,  *素子構造
準シソーラス用語： スマートセンサ

分類 (1件)： 撮像・録画装置  (ND12032E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光パイプ ,  導波 ,  前面照明 ,  イメージセンサ