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J-GLOBAL ID：201202255939086892   整理番号：12A0834552

Al基板上のGLC被膜の界面微細構造,接着強度,摩擦特性に及ぼすイオン洗浄前処理の効果

Effect of ion cleaning pretreatment on interface microstructure, adhesive strength and tribological properties of GLC coatings on Al substrates

著者 (4件)： CHEN Dichun (Advanced Materials Analysis and Test Center, Xi’an Univ. of Technol., 5 South Jinhua Road, Xi’an 710048, Shaanxi ...) ,  JIANG Bailing (School of Materials Sci. and Engineering, Xi’an Univ. of Techonlogy, 5 South Jinhua Road, Xi’an 710048, Shaanxi ...) ,  SHI Huiying (School of Materials Sci. and Engineering, Xi’an Univ. of Techonlogy, 5 South Jinhua Road, Xi’an 710048, Shaanxi ...) ,  LONG Yanni (School of Materials Sci. and Engineering, Xi’an Univ. of Techonlogy, 5 South Jinhua Road, Xi’an 710048, Shaanxi ...)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 86  号： 10  ページ： 1576-1582  発行年： 2012年04月27日 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究では,グラファイト状炭素(GLC)被覆の堆積に先立ってアルミニウム基板表面について一連のイオン洗浄処理(バイアスと時間)を行った。界面微細構造,被膜/基板結合強度,摩擦特性に特に注意を払った。イオン洗浄はGLC被膜の接着と耐摩耗性に決定的に影響することを見出した。イオン洗浄前処理の最適条件は400V/30分であることがわかった。界面領域のHRTEM観測から酸化物層は完全に除去されており,強い結合拡散界面が形成されていることがわかった。しかしながら,低エネルギーイオン洗浄(300V/10分)に対しては,被膜とAl基板の間の界面領域のTEM観察から酸化物汚染がなお残っていることが示された。GLC層厚の最適化は1μm厚のGLC被膜が最高の臨界付加。14.7N,と最低の摩擦係数0.065を示すことを明らかにした。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *被覆 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *アルミニウム合金 ,  基板 ,  *前処理 ,  洗浄 ,  接着強さ ,  *耐摩耗性 ,  摩擦係数 ,  界面 ,  微細構造
準シソーラス用語： *グラファイト状炭素 ,  AA2024 ,  イオン洗浄

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (8件)： Al ,  被膜 ,  界面微細構造 ,  接着強度 ,  摩擦特性 ,  イオン ,  洗浄 ,  前処理