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J-GLOBAL ID：201202256037057519   整理番号：12A0098153

フレキシブル基板上に室温で作製した透明導電性ITO/Cu/ITO膜

Transparent conductive ITO/Cu/ITO films prepared on flexible substrates at room temperature

著者 (4件)： DING Xingwei (School of Physics, Ludong Univ., Hongqi Road, No. 186, Yantai 264025, CHN) ,  YAN Jinliang (School of Physics, Ludong Univ., Hongqi Road, No. 186, Yantai 264025, CHN) ,  LI Ting (School of Physics, Ludong Univ., Hongqi Road, No. 186, Yantai 264025, CHN) ,  ZHANG Liying (School of Physics, Ludong Univ., Hongqi Road, No. 186, Yantai 264025, CHN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 7  ページ： 3082-3085  発行年： 2012年01月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明導電性ITO/Cu/ITO膜をマグネトロンスパッタリングにより三つのカソードを使用して室温でPET基板上に堆積した。SiO₂バッファ層及びCu中間層の厚さがITO/Cu/ITO膜の構造,電気及び光学特性に与える影響を調べた。光透過率はSiO₂バッファ層の影響を少し受けたが,ITO/Cu/ITO膜の電気特性は改善された。SiO₂/ITO/Cu/ITO膜の透過率及び抵抗率はCu層の厚さが増加すると小さくなった。厚さ40nmのSiO₂バッファ層上に堆積した5nmのCu中間層をもつITO/Cu/ITO膜は143Ω/sqのシート抵抗及び波長550nmで65%の透過率を示した。ITO/Cu/ITO膜の光学及び電気特性は主としてCu層に依存した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *フレキシブル基板 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  *透明導電膜 ,  *酸化インジウムスズ ,  *銅 ,  マグネトロンスパッタリング ,  バッファ層 ,  二酸化ケイ素 ,  透過率 ,  *光学定数 ,  *シート抵抗 ,  *多層構造 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (7件)： フレキシブル基板 ,  室温 ,  作製 ,  導電性 ,  ITO ,  Cu ,  ITO膜