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J-GLOBAL ID：201202256427032223   整理番号：12A1650145

フェムト秒レーザにより溶融シリカ内部に真の三次元マイクロコイルを容易に製作する方法

Facile fabrication of true three-dimensional microcoils inside fused silica by a femtosecond laser

著者 (11件)： HE Shengguan (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  CHEN Feng (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  YANG Qing (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  LIU Keyin (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  SHAN Chao (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  BIAN Hao (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  LIU Hewei (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  MENG Xiangwei (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  SI Jinhai (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  ZHAO Yulong (Xi’an Jiaotong Univ., CHN) ,  HOU Xun (Xi’an Jiaotong Univ., CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 10  ページ： 105017,1-5  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロコイルは,マイクロトータル分析(μTAS)あるいはラボオンチップ(LOC)で電磁気発生器として広く使われている。本稿では,溶融シリカ内部にオンチップ三次元(3D)マイクロコイルを容易に製作する方法について報告した。改良したフェムト秒レーザ照射と化学エッチング(FLICE)法により溶融シリカ内部に3D螺旋状マイクロチャネルを作り,この中に金属ガリウムを注入する。この方法により直径100μm,長さ880μm,ピッチ44μmの3D螺旋状マイクロコイルを製作した。この方法は柔軟性があり任意の形状のコイルを作ることができる。

シソーラス用語： 分析機器 ,  装置 ,  *コイル状体 ,  パルスレーザ ,  フェムト秒 ,  石英ガラス ,  エッチング ,  螺旋状 ,  ガリウム ,  電磁気 ,  *フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： MU-TAS ,  マイクロコイル ,  *ラボオンチップ ,  化学エッチング ,  溶融シリカ

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： フェムト秒レーザ ,  溶融シリカ ,  マイクロコイル ,  製作