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J-GLOBAL ID:201202256484402908   整理番号:12A0727730

計装化押込試験の参照標準を計測学的に検証するための原子間力顕微鏡の応用

Use of an atomic force microscope for the metrological verification of the reference standards of instrumented indentation tests
著者 (1件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 294-301  発行年: 2012年01月14日 
JST資料番号: D0987B  ISSN: 0884-2914  CODEN: JMREEE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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押込試験は,硬さのみならず弾性係数や粘性係数の評価などに広く用いられている。したがってこの手法の信頼性の問題が重要視され,装置の各部分についての校正や確認がなされてきた。たとえば原子間力顕微鏡(AFM)による圧子の直接観察も,そのための有力な方法となっている。本研究では,AFMによる圧子像を示し,測定の不確かさについて論じる。すなわち,Vickers圧子の斜面の角度,斜面同士の角度,底面の内角といった形状因子を,数学的に確認し,それらについて不確かさの評価を行った。圧子の形状の不確かさは,AFMの解像度と直線性,AFMの校正の不確かさに依存していた。さらに,AFMによる観察によって,参照標準材料の押込硬さを検証できることを示す。
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分類 (1件):
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材料試験 

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