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J-GLOBAL ID：201202256656065674   整理番号：12A0607869

液相法による積層セラミックコンデンサー用銅ならびにニッケル膜の調製

Wet Chemical Preparation of Copper and Nickel Films for Multi-Layered Ceramic Capacitor

著者 (3件)： 佐藤洋 (秋田大学工学資源学部環境応用化学科) ,  泰良知 (秋田大学工学資源学部環境応用化学科) ,  菅原勝康 (秋田大学工学資源学部環境応用化学科)
資料名： 化学工学論文集
巻： 38  号： 2  ページ： 117-122 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： S0110B  ISSN： 0386-216X  CODEN： KKRBAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 卑金属電極型積層セラミックコンデンサー(Base-Metal-Electrode Multi-layer Ceramic Capacitors, BME-MLCCs)の端部電極に適用可能な,薄くかつ緻密な銅およびニッケル金属膜を低温で得ることを目的として,有機金属化合物を出発原料とし液相法により金属膜前駆体を調製した.そしてこの前駆体の熱処理に伴う化学形態や形状の変化を調べた.前駆体を窒素気流中,200°Cから300°Cで加熱処理することにより,銅およびニッケルの単金属膜ならびに合金膜を得ることができた.溶媒として用いたテトラエチレングリコールの量が,酢酸銅一水和物および酢酸ニッケル四水和物に対して3 molから4 mol添加したときに緻密な金属膜が得られた.また銅前駆体とニッケル前駆体の混合比を変えることにより,銅ニッケル合金膜の組成を任意に制御できることが明らかとなった.MLCC端部に前駆体を塗布して熱処理を行ったところ,内部電極中への銅の拡散およびBaTiO₃層でのクラックの生成なしに,均一かつ薄いBME-MLCCsの端部電極を500°Cで形成しうることがわかった.(著者抄録)

シソーラス用語： 磁器コンデンサ ,  *化学合成 ,  *金属薄膜 ,  ニッケル ,  銅 ,  電極
準シソーラス用語： *金属膜 ,  *液相合成 ,  *積層セラミックコンデンサ

分類 (3件)： LCR部品  (NA05030D) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  磁性材料  (NA04040H)

引用文献 (16件)：

• BONET, F. Synthesis and Characterization of Bimetallic Ni-Cu Particles. J. Solid State Chem. 2003, 172, 111-115
• GLIBIN, V. P. Investigation of the Thermodynamic Properties of Cu-Ni Alloys Obtained by Electrodeposition or by Casting. J. Alloys Compd. 2005, 386, 139-143
• HUNG, V. T. Electrodeposition Method for Terminals of Multilayer Ceramic Capacitors. J. Am. Ceram. Soc. 2003, 6, 905-909
• KISHI, H. Bass-metal Electrode-Multilayer Ceramic Capacitors : Past, Present and Future Perspectives. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 1-15
• MALANGA, J. D. Copper and Termination Materials for BME Capacitors. Am. Ceram. Soc. Bull. 2000, 9, 49-52

タイトルに関連する用語 (5件)： 液相 ,  積層セラミックコンデンサー ,  銅 ,  ニッケル ,  調製