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J-GLOBAL ID：201202256840981217   整理番号：12A1194722

多波長を用いた高速高さ計測への応用技術 空間方向ベクトルの三次元形状計測への応用とその検出法の検討=高さ計測へ向けた新しい試み=

著者 (1件)： 小野寺理文 (職業能力開発総合大)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 23  号： 9  ページ： 12-15  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 被検波面の空間方向ベクトルの位相アンラッピング法への応用に着目し,方向角分布の検出方法を検討した。この方向角情報を使うことにより光干渉三次元計測法へ応用できる。波面の方向ベクトルと方向角の模式図や位相マップと波面方向角の概念図を使って,位相アンラッピング法への応用を説明した。方向角検出のための実験光学系の模式図や方向角検出に用いる4値ヒルベルト位相フィルタを使って,波面方向角の検出法の検討を行った。物体光のスペクトルにヒルベルト位相フィルタを乗算し,被検波面の傾き方向を表す波面方向角ごとに異なる位相シフトが与えられる。波面方向角の二次元分布は,その位相シフト量を検出することで求めることができることを示した。

シソーラス用語： *計測 ,  *形態 ,  *形状測定 ,  *光干渉法 ,  ディジタルフィルタ
準シソーラス用語： *高さ計測 ,  *3D形状 ,  位相アンラッピング ,  ヒルベルト位相フィルタ

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多波長 ,  高さ計測 ,  応用 ,  ベクトル ,  三次元形状計測 ,  検出法 ,  試み